騰璽科技提供客戶解決特殊問題的專業技術服務如：

    1.半導體設備製程改善

　2. ETO系統診斷及功能提昇

　3. 製程電漿光譜量測及分析

　4. RPS系統改進及監測設備

　5. 電漿製程微波系統監測及分析

　6. 訓練課程:

　 　a. Plasma sources and application.

　 　b. RF/Microwave power system and impedance matching.

　 　c. Basic plasma physics and applications.

　 　d. The principle and characteristics of MKS remote plasma source.

　 　e. Introduction of MKS ozone generators.